Nový UVC micro-LED displej by mohl do budoucna usnadnit výrobu čipů
V poslední době se objevuje poměrně mnoho snah přinést výraznější inovace – ne-li rovnou revoluci – v odvětví polovodičových technologií a jejich nákladné výroby. Nejnověji se o slovo přihlásili vědci z Hong Kong University of Science and Technology. Vyvinuli první svého druhu micro-LED “displej”, který vyzařuje hluboké ultrafialové záření (DUV) pro účely tzv. bezmaskové litografie.
Litografické stroje jako takové jsou zásadním vybavením při výrobě čipů. Pomocí krátkovlnného záření dokážou „vypálit“ takřka libovolné rozložení integrovaných obvodů. Zpravidla se přitom používá reflexní maska, jež umožňuje vytvořit konkrétní obrazce na desce pokryté foto-senzitivním substrátem, tzv. fotorezistem. Tradičně se jako zdroj záření používají rtuťové lampy a UV LED, které však mají řadu nevýhod, jako je značná velikost zařízení, nízké rozlišení vypalovaného obrazce, vysoká spotřeba energie, nízká světelná efektivita a nedostatečná hustota optické síly.
Tyto obtíže alespoň částečně překonává nový prototyp sestavený hongkongským výzkumným týmem. Podařilo se jim provést litografii bez masky s vylepšenou optickou efektivitou (záření dopadá jen tam, kam má, neztrácí se přes masku), lepší distribucí tepla, vysokým rozlišením obrazce, nižším operačním napětím, menší velikostí zařízení a rychlou expozicí.
Profesor Hoi-Sing Kwok, pod jehož supervizí výzkum probíhal, k tomu dodal: „V posledních letech se nízkonákladová a vysoce přesná technologie bezmaskové litografie stala aktivním bodem výzkumu a vývoje, a to díky její schopnosti upravit expoziční obrazce, poskytnout rozmanitější možnosti customizace a šetřit náklady za přípravu litografických masek.“
Výzkum byl publikován v prestižním časopise Nature Photonis pod názvem High-Power AlGaN Deep-Ultraviolet Micro-Light-Emitting Diode Displays for Maskless Photolithography. Od zveřejnění si již získal značné uznání ze strany průmyslu a je v považován za jeden z největších pokroků v oblasti tzv. „polovodičů třetí generace“ za uplynulý rok. Tým vědců se do budoucna chystá vylepšovat svůj prototyp a dosáhnou vyššího rozlišení displeje 2K až 8K.
Zdroje: ledinside.com, nature.com